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260輪廓儀

產(chǎn)品價(jià)格面議

最小起訂≥1 臺(tái)

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基本參數(shù)
服務(wù)項(xiàng)目 瀏覽量19 發(fā)布時(shí)間2019-08-26
品牌未填 所在地 起訂≥1 臺(tái)
供貨總量未填 發(fā)貨0天內(nèi)發(fā)貨 有效期至2025-03-09
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詳細(xì)說(shuō)明

HRP?-260是一款高分辨率cassette-to-cassette探針式輪廓儀。HRP的性能經(jīng)過(guò)生產(chǎn)驗(yàn)證,能夠進(jìn)行自動(dòng)化晶圓裝卸、可為半導(dǎo)體、化合物半導(dǎo)體、高亮度LED、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和相關(guān)行業(yè)提供服務(wù)。P-260配置支持臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的二維及三維測(cè)量,其掃描深度可達(dá)200mm而無(wú)需圖像拼接。 HRP?-260配置的功能與P-260相同,并增加了能夠?qū)π√卣鬟M(jìn)行高分辨率和高產(chǎn)量測(cè)量的高分辨率平臺(tái)。

HRP?-260的雙平臺(tái)功能可以進(jìn)行納米和微米表面形貌的測(cè)量。 P-260配置提供長(zhǎng)掃描(最長(zhǎng)200mm)的功能,無(wú)需圖像拼接,HRP?-260提供高分辨率掃描平臺(tái),掃描長(zhǎng)度可達(dá)90μm。 P-260結(jié)合了UltraLite?傳感器、恒力控制和超平掃描的功能,實(shí)現(xiàn)了出色的測(cè)量穩(wěn)定性。 HRP?-260采用高分辨率壓電掃描平臺(tái)提高性能。 通過(guò)采用點(diǎn)擊式平臺(tái)控制、低倍和高倍率光學(xué)系統(tǒng)以及高分辨率數(shù)碼相機(jī),其程序設(shè)置快速簡(jiǎn)便。 HRP?-260支持二維和三維測(cè)量,具有各種濾鏡、調(diào)平和數(shù)據(jù)分析算法,以量化表面形貌。 并且通過(guò)自動(dòng)晶圓裝卸、圖案識(shí)別、排序和特征檢測(cè)以實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量。

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主要功能

·        臺(tái)階高:納米至327μm

·        恒力控制的低觸力:0.0350mg

·        樣品全直徑掃描,無(wú)需圖像拼接

·        視頻:在線低倍和高倍放大光學(xué)系統(tǒng)

·        圓弧校正:消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差

·        軟件:簡(jiǎn)單易用的軟件界面

·        生產(chǎn)能力:通過(guò)測(cè)序、圖案識(shí)別和SECS / GEM實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化

·        晶圓機(jī)械傳送臂:自動(dòng)加載75mm200mm不透明(例如硅)和透明(例如藍(lán)寶石)樣品

·        HRP:高分辨率掃描平臺(tái),分辨率類(lèi)似于AFM


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主要應(yīng)用

·        臺(tái)階高度:2D3D臺(tái)階高度

·        紋理:2D3D粗糙度和波紋度

·        外形:2D3D翹曲和形狀

·        應(yīng)力:2D3D薄膜應(yīng)力

·        缺陷復(fù)檢:2D3D缺陷表面形貌


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