超高純氣體純化器

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超高純氣體純化技術是有色金屬研究總院“十三五”重點產(chǎn)業(yè)化方向。在“十二五”期間軍工項目科研成果基礎上研發(fā)的氣體純化材料，具有處理量大、去除雜質種類多、吸附深度大、使用壽命長等優(yōu)點，并以此為核心技術開發(fā)出多個型號的惰性氣體、氫氣和氮氣等超高純氣體純化裝置。同時，有研總院自身具備不斷創(chuàng)新的研發(fā)能力，成套的純化材料生產(chǎn)、純化器組裝技術，以及完善的純化器性能測試條件，可根據(jù)用戶需求設計完整解決方案、定制非標產(chǎn)品，并提供各項性能檢測服務，目前產(chǎn)品已應用于中國科學院理化所、中國核工業(yè)集團、西南化工研究設計院、北京師范大學、北京航空航天大學、北京科技大學、國家有色金屬材料檢測中心，哈爾濱師范大學等單位獲得應用。

UP1L 超高純氣體純化器采用活性金屬為化學吸附劑，當原料氣通過活性金屬純化床時，氣體中O 2，H2O，N2，CO，CO2，CH4等雜質氣體與活性金屬發(fā)生化學吸附反應，根據(jù)原料氣純度不同，一次純化后出口氣體純度即達到 7N-8N，可實現(xiàn)無人值守全自動運行，并具有實時監(jiān)測、故障報警和反饋等功能。為保證產(chǎn)品質量，純化器系統(tǒng)管路連接全部采用 Swagelok 全自動軌道焊機焊接，漏率低于 10－9 Pa；關鍵部件焊接、組裝、生產(chǎn)均在千級超凈環(huán)境中進射流沖蝕試驗機便于在各種條件下測定的磨損率。磨損率可 以用來確定在給定操作條件的最佳材料。它也可以被用來預測使用壽命和壽命周期成本。

UP系列氣體純化器

委托上海正帆科技公司對 GRINM-UP1L 氬氣純化器性能檢測結果

部分用于現(xiàn)場照片：

山西中升鋼廠光譜儀配套UP10M使用現(xiàn)場，分析用氣體純度達到光譜儀檢測所需的最高級的綠色。

北京科技大學CVD設備用的多臺UP1L氬氣純化器

西南化工研究院定制 20MPa/30Nm3 氬氣純化器

搭載氫氣純化的電解水制氫/在線純化系統(tǒng)，用于人造鉆石生產(chǎn)高純氫場合

UP1L 超高純氣體純化器產(chǎn)品參數(shù)：

l  原料氣純度要求：≥99.999%，He/Ar/H2 /N2

l  產(chǎn)品氣純度：≥99.99999%

l  產(chǎn)品氣雜質含量：

H2O ≤5ppb

O2 ≤10ppb

N2 ≤10ppb（原料氣非 N2 ）

H2 ≤10ppb（原料氣非 H2 ）

CO ≤10ppb

CO2 ≤10ppb

CH4 ≤10ppb

NMHC ≤10ppb

l  最大工作流量：1000sccm

l  內置顆粒過濾器：2 微米

l  軟件功能：可顯示多達7種工作狀態(tài)或故障報警，并具有壽命計時及提醒功能

l  擴展功能：多臺純化器可同一終端批量控制，也可與其他設備集成使用

l  最大工作壓力：1.0MPa

l  進出氣接口：1/8″卡套或VCR 接頭

l  純化柱及管路：EP級316不銹鋼

l  電源電壓及功率：220V，0.8kw

l  產(chǎn)品外形尺寸：170×160×320mm

氣體純化器是集成電路、LED、太陽能板、光纖、燃料電池等制造工藝中必不可少的重要裝備，并可有效提高離子濺射、薄膜生長、焊接、配氣等多項技術的工藝性能。UP1L 超高純氣體純化器系列主要服務于各類科研與分析儀器，如氣相色譜儀、輝光質譜儀、光譜儀、鍍膜機等，為其提高高純度載氣或分析氣，也可用于保證材料氣相沉積生長、磁控濺射鍍膜、高精度焊接等用氣純度。