| 服務項目 | 瀏覽量3 | 發(fā)布時間2014-06-25 |
| 品牌HORIBAMETRON | 所在地 | 起訂≥1 個 |
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1. 特點及主要應用領(lǐng)域
氣體質(zhì)量流量控制器（流量計）Mass gas flow controller（meter）縮寫為MFC(MFM)）是對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制的設(shè)備。
S49 32/MT 質(zhì)量流量控制器(流量計)特點：
☆耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。
☆主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用VITON?、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。
☆具有精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、工作穩(wěn)定可靠。
☆可任意位置安裝。電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動控制系統(tǒng)配合。
☆配合MT-60 系列流量積算儀，可對氣體的瞬時流量和累積流量進行精確計量。
S49 32/MT 質(zhì)量流量控制器(流量計)主要應用領(lǐng)域：
半導體制造行業(yè)的氣體流量控制；
分析儀器設(shè)備的氣體計量與控制；
各種形式的真空鍍膜設(shè)備；
環(huán)境檢測與分析設(shè)備；
化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業(yè)氣體流量檢測和控制；
特種材料表面處理裝置與燃燒控制；
混氣配氣系統(tǒng)和泄露探測系統(tǒng)等。
2. S49系列質(zhì)量流量控制器(流量計)型號
S49 32/MT 系列質(zhì)量流量控制器(流量計)，S49為質(zhì)量流量控制器(流量計)產(chǎn)品，32/MT為本公司此產(chǎn)品設(shè)計序列號。
質(zhì)量流量計用于對氣體的質(zhì)量流量精確測量計量；
質(zhì)量流量控制器(流量計)不但具有質(zhì)量流量計的測量計量功能，還具有自動控制氣體的質(zhì)量流量功能。
型式批準證書：2011F215-11
執(zhí)行Q/CYHMT001-2011企業(yè)標準
許可證編號：京制01050063號
3.主要技術(shù)指標
質(zhì)量流量控制器(流量計)流量出廠通常用氮氣(N2)標定。
質(zhì)量流量單位為：mL/min（毫升/分鐘）；(SCCM行業(yè)標準)
L/min （升/分鐘）。 (SLM行業(yè)標準)
標準狀態(tài)為：溫度----273.15K（0℃）；
氣壓----101325Pa(760mmHg)
F.S(Full Scale):表示滿量程值
表1 S49 32/MT質(zhì)量流量控制器(流量計)技術(shù)指標
編號 |
項目 |
S49 32/MT |
1 |
流量規(guī)格 |
（5,10,30,50,100,200,300,500）mL/min （1,2,3,5,10）L/min |
2 |
調(diào)節(jié)閥類型 |
電磁調(diào)節(jié)閥 |
3 |
調(diào)節(jié)閥靜止狀態(tài) |
常閉 |
4 |
準確度 |
±1.5%F.S |
5 |
線性 |
±1.5%F.S |
6 |
重復精度 |
±0.2%F.S |
7 |
響應時間 |
≤8秒（T95） |
8 |
工作壓差范圍 |
（50～300）kPa; （100～300）kPa(10L/min) |
9 |
耐壓 |
3MPa; 10MPa |
10 |
工作環(huán)境溫度 |
（5～45）℃ |
11 |
材料 |
不銹鋼316L |
12 |
標準密封材料 |
Viton?， EPDM， 或其他由用戶指定 |
13 |
漏率 |
1×10-8Pa.m3/s |
14 |
接頭 |
Φ6mm～Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR。或其他由用戶指定 |
15 |
輸入輸出信號 |
（0～＋5.00）V (輸入阻抗≥100KΩ,負載輸出電流能力≤3mA) |
16 |
供電電源 |
±15V（±5%）（＋15V 50mA, －15V 200mA） |
17 |
外形尺寸mm |
130（寬）×102（高）×28（厚） |
18 |
重量kg |
0．8 |
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