AFM探針，原子力顯微鏡探針

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探針的工作模式：主要分為 掃描(接觸)模式和輕敲模式

探針的結(jié)構(gòu)：懸臂梁+針尖

探針針尖曲率半徑Tip Radius：一般為10nm到幾十nm。

制作工藝：半導(dǎo)體工藝制作

常見的探針類型：

1. 導(dǎo)電探針（電學(xué)）：金剛石鍍層針尖，性能比較穩(wěn)定

2 .壓痕探針：金剛石探針針尖（分為套裝和非套裝的）

3. 氮化硅探針：接觸式（分為普通的和銳化的）

4. 磁性探針：應(yīng)用于MFM，通過在普通tapping和contact模式的探針上鍍Co、Fe等鐵磁性層制備

5. 電化學(xué)探針（STM）: 電學(xué)接觸式和電學(xué)輕敲式

6. FIB大長徑比探針：測半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，專為測量深的溝槽（深孔）以及近似鉛垂的側(cè)面而設(shè)計生產(chǎn)的。

Popular Probes & Applications

Application: High resolution topographical imaging of a wide variety of samples.

Probe Model: TESP, RTESP, OTESPA , NCHV, VL300

Specifications: 40 N/m, 300 kHz

AFM Mode: Tapping

Application: High resolution imaging for softer samples (Polymers, biological, and thin films)

Probe Model: FESP, RFESP, OLTESPA, FMV, VLFM

Specifications: 2.8 N/m, 75 kHz

AFM Mode: Tapping or Force Modulation

Application: Magnetic and electrical measurements.

Probe Model: MESP, SCM-PIT, OSCM-PT, SCM-PIC

Specifications: 2.8 N/m, 75 kHz

AFM Mode: MFM, EFM, SCM, Conductive AFM / TUNA

Application: Liquid Imaging, Force Measurement and pulling, Contact mode imaging in air

Probe Model: MSCT, NP-S, OTR4, OBL

Specifications: .006-.58 N/m

AFM Mode: Contact or Tapping

模式 常用探針型號

接觸模式

– ESP

– MPP-31100-10

– SNL-10

– DNP-10

– MLCT

– MSNL-10

輕敲模式

空氣 液體

– MPP-11100-10 (RTESP)

– TESP

– OTESPA

– FESP – SNL-10

– DNP-10

– MLCT

– MSNL-10

峰值力輕敲模式

– ScanAsyst-Air

– ScanAsyst-Fluid

– ScanAsyst-Fluid+

智能成像模式

– ScanAsyst-Air

– ScanAsyst-Fluid

– ScanAsyst-Fluid+

– ScanAsyst-Air-HR

輕敲模式& 相位成像模式

– MPP-11100-10 (RTESP)

– TESP

– OTESPA

– FESP

定量納米力學(xué)性能測試模式

– MPP-11120-10 (RTESPA)

– MPP-12120-10

– MPP-13120-10

– PDNISP-HS

– ScanAsyst-Air

磁力顯微鏡模式

– MESP

– MESP-HM

– MESP-LM

– MESP-RC

靜電力顯微鏡模式

– SCM-PIT

– MESP

– MESP-RC

– OSCM-PT

峰值力隧道電流顯微鏡&導(dǎo)電原子力顯微鏡模式

– SCM-PIC

– SCM-PIT

– DDESP-FM

– PFTUNA

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