搭建半導(dǎo)體霍爾效應(yīng)測試實驗需要哪些儀器呢?認(rèn)準(zhǔn)生產(chǎn)廠家武漢普賽斯儀表,詳詢一八一四零六六三四七六
半導(dǎo)體材料的霍爾效應(yīng)是表征和分析半導(dǎo)體材料的重要手段,可根據(jù)霍爾系數(shù)的符號判斷材料的導(dǎo)電類型?;魻栃?yīng)本質(zhì)上是運動的帶電粒子在磁場中受洛侖茲力作用引起的偏轉(zhuǎn),當(dāng)帶電粒子(電子或空穴)被約束在固體材料中,這種偏轉(zhuǎn)就導(dǎo)致在垂直于電流和磁場的方向上產(chǎn)生正負(fù)電荷的聚積,形成附加的橫向電場。
根據(jù)霍爾系數(shù)及其與溫度的關(guān)系可以計算載流子的濃度,以及載流子濃度同溫度的關(guān)系,由此可以確定材料的禁帶寬度和雜質(zhì)電離能;通過霍爾系數(shù)和電阻率的聯(lián)合測量能夠確定載流子的遷移率,用微分霍爾效應(yīng)法可測縱向載流子濃度分布;測量低溫霍爾效應(yīng)可以確定雜質(zhì)補償度。與其他測試不同的是霍爾參數(shù)測試中測試點多、 連接繁瑣,計算量大,需外加溫度和磁場環(huán)境等特點,在此前提下,手動測試是不可能完成的。
普賽斯儀表開發(fā)的霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)可以實現(xiàn)幾千到至幾萬點的多參數(shù)自動切換測量,系統(tǒng)由S系列國產(chǎn)源表,2700矩陣開關(guān)和S型測試軟件等組成??稍诓煌拇艌觥囟群碗娏飨赂鶕?jù)測試結(jié)果計算出電阻率、霍爾系數(shù)、載流子濃度和霍爾遷移率,并繪制曲線圖。在半導(dǎo)體制程的晶圓基片和離子注入等階段,或者封裝好的霍爾器件需要做霍爾效應(yīng)的測試。
需要測試的參數(shù):
電阻率
霍爾系數(shù)
載流子濃度
霍爾遷移率特性曲線
需要的儀器列表:
國產(chǎn)S型源表
開關(guān)
變溫器
可變磁場
軟件
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