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橫河EJA
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終端;
1、 先進(jìn)的工作原理
采用微電子加工技術(shù)(MEMS)在一個(gè)單晶硅芯片表面的中心和邊緣制作 兩個(gè)形狀、尺寸、材質(zhì)完全一致的H形狀的諧振梁,諧振梁在自激振蕩回路中作高頻振蕩。 單晶硅片的上下表面受到的壓力不等時(shí),將產(chǎn)生形變,導(dǎo)致中心諧振梁 因壓縮力而頻率減小,邊緣諧振因受拉伸力而頻率增加。
兩頻率之差信號(hào)直接送到CPU進(jìn)行數(shù)據(jù)處理,然后 (1)經(jīng)D/A轉(zhuǎn)換成4-20mA輸出信號(hào),通訊時(shí)疊加Brain或Hart數(shù)字信號(hào); (2)直接輸出符合現(xiàn)場(chǎng)總線(Fieldbus Foundation TM)標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)字信號(hào)。
2、 優(yōu)異的性能
靜壓影響忽略不計(jì)
當(dāng)加有靜壓(工作壓力)時(shí),兩形狀、尺寸、材質(zhì)完全一致的諧振梁形變相同, 故頻率變化也一致,故偏差自動(dòng)清除(公式和圖類(lèi)似溫度影響)。
單向過(guò)壓特性?xún)?yōu)異
接液膜片與膜盒本體采用獨(dú)創(chuàng)的波紋加工技術(shù),使外部壓力增大到某一數(shù)值時(shí), 接液膜片能與本體完全接觸,硅油傳遞給傳感器的壓力不再隨外力的增加而增 加,從而達(dá)到對(duì)傳感器的保護(hù)作用。