多入射角激光橢偏儀
高端研發(fā)領域專用的多入射角激光橢偏儀,采用多項專利技術,儀器硬件和軟件具有多項定制功能設計,適用于光面或絨面納米薄膜測量、塊狀固體參數(shù)測量、快速變化的納米薄膜實時測量等不同的應用場合。 產(chǎn)品特點: 1.高精度、高穩(wěn)定性 2.一體化集成設計 3.測量簡單 4.快速、高精度樣品方位對準 5.多角度測量 6.實時測量 7.豐富的材料庫及物理模型 8.強大的數(shù)據(jù)分析和管理功能 應用領域: 可應用于納米薄膜的幾乎所有領域,如微電子、半導體、生命科學、電化學、顯示技術、磁介質及金屬處理等??蓪{米層構樣品的薄膜厚度和折射率n及消光系數(shù)k進行快速、高精度、高準確度的測量,尤其適用于科研和工業(yè)產(chǎn)品環(huán)境中的新品研發(fā)及質量監(jiān)控,可用于表征單層納米薄膜、多層納米層構模系,以及塊狀材料(基底)。
技術指標:
激光波長
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632.8nm(He-Ne laser)
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膜層厚度精度
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0.01nm(對于Si 基底上110nm 的SiO2 膜層
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折射率精度
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1x10-4 (對于Si 基底上110nm 的SiO2 膜層
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光學結構
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PSCA
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激光光束直徑
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<1mm
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入射角度
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40°-90°可選,步進5°
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樣品方位調(diào)整
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三維平移調(diào)節(jié);±6.5mm(X-Y-Z三軸)
二維俯仰調(diào)節(jié):±4°
光學自準直系統(tǒng)對準
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樣品臺尺寸
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Φ 170mm
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單次測量時間
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0.2s
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推薦測量范圍
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0-6000nm
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最大外形尺寸(長x寬x高)
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887x332x552mm(入射角為90°時
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儀器重量(凈重)
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25kg
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