INFICON SKY CDG025D電容膜片真空計(jì)系列的高精度溫度補(bǔ)償型壓力計(jì)可以在惡劣的生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定性能。
高級(jí)數(shù)字電子元件用于改進(jìn)真空計(jì)的性能,具有一鍵調(diào)零功能和設(shè)定點(diǎn)調(diào)整等易于操作的特性。
防腐蝕超純陶瓷傳感器提供優(yōu)異的零點(diǎn)穩(wěn)定性,預(yù)期使用壽命長(zhǎng)達(dá)數(shù)百萬(wàn)次壓力循環(huán)(包括氣壓突變)。 獨(dú)特的傳感器屏蔽(正在申請(qǐng)專利)用于保護(hù)真空計(jì),使其免受加工污染。
堅(jiān)固的機(jī)械設(shè)計(jì)和數(shù)字電子元件可以改進(jìn)電磁兼容性 (EMC)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和溫度補(bǔ)償。 CDG025D
電容膜片真空計(jì)為開機(jī)后快速穩(wěn)定以及從大氣氣壓中快速恢復(fù)的功能樹立了新的標(biāo)準(zhǔn)。
CDG025D電容膜片真空計(jì)益處:
全刻度范圍從 100 毫托 … 1000 托
電源接通后快速穩(wěn)定
暴露于大氣壓后快速恢復(fù)
防腐陶瓷傳感器
卓越的長(zhǎng)期信號(hào)穩(wěn)定性
溫度補(bǔ)償
傳感器防污染保護(hù)
一鍵調(diào)零功能
電源范圍廣
CDG025D電容膜片真空計(jì)典型應(yīng)用:
用于刻蝕、CVD、PVD、ALD
的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備
數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和顯示制造設(shè)備
工業(yè)真空設(shè)備
常規(guī)高精度壓力測(cè)量
CDG025D電容膜片真空計(jì)選型指南:
![](http://i01.yizimg.com/ComFolder/597495//201306/CDG025D_PN.png)