天津微納制造技術(shù)有限
公司于2005年11月在天津經(jīng)濟(jì)技術(shù)發(fā)區(qū)(泰達(dá)TEDA)注冊(cè)成立,隸屬于天津大學(xué)。公司坐落于泰達(dá)天大科技園園區(qū)內(nèi),一期規(guī)劃占地2000平方米,是微納制造領(lǐng)域的高新技術(shù)企業(yè)。天津微納制造技術(shù)有限公司引進(jìn)海外管理與技術(shù)骨干構(gòu)建核心團(tuán)隊(duì),依靠泰達(dá)良好的產(chǎn)業(yè)化環(huán)境和天大科技園技術(shù)創(chuàng)新的孵化機(jī)制構(gòu)成創(chuàng)業(yè)優(yōu)勢(shì),以微納制造領(lǐng)域的一流企業(yè)作為自己的發(fā)展目標(biāo),將為拉動(dòng)以天津?yàn)I海新區(qū)為核心的環(huán)渤海經(jīng)濟(jì)圈的先進(jìn)制造技術(shù)發(fā)展發(fā)揮重要作用。
天津微納制造技術(shù)有限公司重點(diǎn)發(fā)展光學(xué)及光電子儀器及系統(tǒng)、生物及醫(yī)療儀器與設(shè)備、高技術(shù)日用品、航空航天及計(jì)算機(jī)外圍設(shè)備等領(lǐng)域中的核心、精密及微小器件的研發(fā)、加工和制造。在非球面及自由光學(xué)曲面加工、脆性材料加工、聚焦離子束加工(FIB)、超精密加工及測(cè)量等方面具有雄厚實(shí)力,將為來自科研機(jī)構(gòu)與工業(yè)界在高精度、復(fù)雜形面、及微小元器件的需求提供高質(zhì)量的設(shè)計(jì)、加工、檢測(cè)、技術(shù)咨詢、產(chǎn)品制造、售后咨詢及維護(hù)等服務(wù)。
天津市微納制造技術(shù)工程中心經(jīng)天津市科委批準(zhǔn),于2006年12月組建。中心以天津微納制造技術(shù)有限公司作為依托企業(yè)和運(yùn)行實(shí)體,中心與公司采用MNMT作為一致的標(biāo)識(shí)進(jìn)行商標(biāo)注冊(cè),并以此為基礎(chǔ)建立統(tǒng)一的CI體系。天津大學(xué)作為MNMT的科研依托單位,以精密儀器與光電子工程學(xué)院及掛靠其下的精密測(cè)試技術(shù)及儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室為MNMT提供原創(chuàng)性科研、技術(shù)以及人員方面的支撐。
天津市微納制造技術(shù)工程中心,旨在研究與開發(fā)非球面及自由光學(xué)曲面加工、脆性材料加工、微納加工、超精密加工及測(cè)量技術(shù),從而形成基礎(chǔ)研究與產(chǎn)業(yè)化的平臺(tái)。其自有技術(shù)開發(fā)、項(xiàng)目委托開發(fā)、成果轉(zhuǎn)化及技術(shù)服務(wù)等為相關(guān)科研院所和高技術(shù)企業(yè)突破制造技術(shù)瓶頸,實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)奠定基礎(chǔ),而且可打破國(guó)外企業(yè)在相關(guān)領(lǐng)域的壟斷地位,形成高精度及微小關(guān)鍵元器件國(guó)產(chǎn)化的格局,帶動(dòng)高技術(shù)產(chǎn)品制造產(chǎn)業(yè)鏈的形成。
聚焦離子束技術(shù)(FIB)是一種集形貌觀測(cè)、定位制樣、成分分析、薄膜沉積和刻蝕等過程于一身的新型納米加工與分析技術(shù)。MNMT利用聚焦離子束技術(shù),能夠進(jìn)行聚焦離子束刻蝕加工,同時(shí)可實(shí)現(xiàn)在線電鏡高分辨率檢測(cè);通過氣體注入系統(tǒng)進(jìn)行鉑沉積,結(jié)合樣品微操作裝置,可進(jìn)行微/納結(jié)構(gòu)與器件的制備和結(jié)構(gòu)優(yōu)化研究。主要應(yīng)用包括高精度復(fù)雜微/納結(jié)構(gòu)和器件、微刀具、碳納米管器件及TEM樣品制備等。目前,MNMT已經(jīng)成功開發(fā)了西門子星、小于100nm線寬的納米掩模、生物光學(xué)芯片及微納衍射光學(xué)元件等高精度難加工關(guān)鍵器件。 應(yīng)用范圍:
?高精度復(fù)雜微納米結(jié)構(gòu)和器件的加工與制造
?微電子集成電路的缺陷檢測(cè)分析和修整
?TEM樣品的制備和提取
?微納米生物芯片和光學(xué)器件加工
?微刀具制造
?微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)加工
同步實(shí)現(xiàn)FIB加工和SEM(掃描電鏡)測(cè)量,具備納米加工-納米原型設(shè)計(jì)-2D/3D納米表征-納米分析(包括:3維重構(gòu)、STEM分析、能譜分析等)能力,實(shí)現(xiàn)微/納米元件(如三維微/納結(jié)構(gòu)、微刀具、碳納米管器件等)的制備和性能檢測(cè)。