探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本
該探針臺(tái)的承片臺(tái)X/Y/Z三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下調(diào)節(jié),其中X方向調(diào)節(jié)范圍:0-30mm;y方向調(diào)節(jié)范圍:0-13mm;z方向調(diào)節(jié)范圍:0-13mm;用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時(shí)將需檢測(cè)的器件固定在加熱臺(tái)上,再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程,通過顯微鏡觀察,使探針對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)點(diǎn)后,即可進(jìn)行檢測(cè)。
實(shí)驗(yàn)腔體
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腔體材質(zhì)
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304不銹鋼
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上蓋開啟
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鉸鏈側(cè)開
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內(nèi)腔體尺寸
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φ140x180
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加熱臺(tái)材質(zhì)
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304不銹鋼
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觀察窗尺寸
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φ75
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加熱臺(tái)尺寸
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50x50
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加熱臺(tái)溫度
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室溫-350℃可調(diào)
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加熱臺(tái)溫控誤差
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±1℃
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真空度
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機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
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真空抽氣口
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KF25
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氣體進(jìn)氣口
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3mm-6mm卡套接頭
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進(jìn)氣閥門
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高精密針閥
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抽氣閥門
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KF25真空擋板閥
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壓力表
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機(jī)械壓力表 -0.1-0.15mpa
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信號(hào)電極
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4個(gè)
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探針數(shù)量
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4個(gè)
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探針材質(zhì)
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φ1.5鎢針 其他材質(zhì)可選
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探針移動(dòng)平臺(tái)
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X軸移動(dòng)行程
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30mm ±15mm
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X軸控制精度
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≤0.1MM
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Y軸移動(dòng)行程
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13MM ±6.5mm
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Y軸控制精度
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≤0.05MM
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Z軸移動(dòng)行程
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13mm ±6.5mm
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Z軸控制精度
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≤0.05MM
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信號(hào)電極
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電極芯
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1芯
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電極引出接頭
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BNC母頭
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電極引出線
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銅網(wǎng)信號(hào)屏蔽線
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BNC引出接頭
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X4
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額定電流
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≤5A
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額定電壓
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≤220V
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電極芯直徑
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φ1mm
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接觸電阻
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≤5MΩ
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絕緣電阻
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≥1000 MΩ
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外殼接地
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是
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電子顯微鏡
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電子顯微鏡根據(jù)客戶需要配置不同倍率 請(qǐng)和客服溝通
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做氣體傳感器的客戶可以選擇本公司的多通道智能氣體配比系統(tǒng)
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