小型等離子清洗機(jī)泛指容積在10升以下,主要適用于半導(dǎo)體行業(yè),應(yīng)刷電路板行業(yè),醫(yī)療診斷行業(yè),醫(yī)療器械行業(yè),彈性體行業(yè),光學(xué)行業(yè)等
小型等離子清洗機(jī)的基本結(jié)構(gòu)
1、射頻電源部分:射頻源,射頻調(diào)節(jié),功率放大,功率調(diào)節(jié),功率輸出,輸出保護(hù),等離子電極,溫度保護(hù)。
2、系統(tǒng)控制部分:數(shù)字自控,I/O控制,真空度A/D檢測,脈寬比例D/A調(diào)節(jié),參數(shù)記憶,時(shí)鐘設(shè)定。
3、真空與氣路部分:真空系統(tǒng),外加氣體,流量調(diào)節(jié),回氣與管路
設(shè)備的通用技術(shù)參數(shù)
____ YZD08-10C型是單路氣體輸入,
*供電電源: AC220V
*工作電流: 整機(jī)工作電流不大于1.2A(不含真空泵)
*射頻電源功率: 500W
*射頻頻率: 40KHZ(偏移量小于0.2KHz)
*頻率偏移量: 小于0.2KHz
*特性阻抗: 50歐姆,自動(dòng)匹配
*真空度: 10Pa1000Pa
*氣體流量: 1100ml/min(可調(diào))
*過程控制: PLC自動(dòng)與手動(dòng)方式(人機(jī)界面)
清洗時(shí)間: 1-100分鐘可調(diào)
功率大小 10%-100%可調(diào)
內(nèi)腔尺寸 200mm×200mm×260mm