產(chǎn)品介紹設(shè)備特點:
1. 設(shè)備骨架為SUS304外包3mmPP,外殼采用德國進(jìn)口PP-W板焊接;
2. 采用10.4英寸“PROFACE”觸摸屏人機(jī)界面操作和“三菱”PLC控制;
3. 槽體設(shè)置溫度、液位監(jiān)控裝置;
4. 藥液槽配透明槽蓋,有效防止藥液揮發(fā),污染;
5.清洗區(qū)域配有高效過濾器,無二次污染機(jī)會;
6.設(shè)備采用耐腐蝕導(dǎo)線并通過耐腐蝕PE 管進(jìn)行保護(hù),防腐防水;
7.設(shè)備底部安裝3mm 厚PP 防漏托盤,有效防止設(shè)備漏液損害廠務(wù)地板;
8.用戶操作人員上料后,全過程自動化控制,減少人工干預(yù)。設(shè)備具有自動化程度高、運行成本低、生產(chǎn)效率高、性能穩(wěn)定、安全可靠等特點;
9.設(shè)備安全性能高,設(shè)備在防漏液、加熱、漏電等方面都做了嚴(yán)格的設(shè)計,確保人身和廠務(wù)安全;產(chǎn)品屬性適用于:2-6寸硅片清洗產(chǎn)品規(guī)格控制模式:半自動控制(工件搬運為手動操作,工藝參數(shù)控制過程為自動)
總體規(guī)格: 1200mm(L)×1100mm(W)×2000mm(H) 工件:2-6寸硅片產(chǎn)能:25片/槽 按客戶產(chǎn)能需求設(shè)計 電源:380V,50HZ,2KW其他說明純水:CL-PVC 進(jìn)口DN25 管徑,0.2~0.3 MPa 壓力,用量MAX:2m3/h
抽風(fēng)口:φ200*1 抽風(fēng)量MAX:700m3/h ,風(fēng)量口裝有蝶閥,可手動調(diào)節(jié)
CDA: 0.4~0.6 MPa 壓力,接管口徑 ∮8mm,用量MAX:0.5m3/h
N2: 0.4~0.6 MPa 壓力,接管口徑 ∮8mm,用量MAX:2m3/h交易說明最少交易數(shù)量:1套交易價格:面議