去PSG(磷硅玻璃)清洗機(jī)
目的:1去除硅片表面的P-Si玻璃層(PSG),為加鍍減反射膜做準(zhǔn)備 在形成PN結(jié)的擴(kuò)散過 程中,在硅片表面形成一層一定厚度的磷硅玻 璃,磷硅玻璃不導(dǎo)電,為了形成良好的歐姆接觸,減少光的反射,在沉積減反射膜之前,將磷硅玻璃腐蝕。
2磷硅玻璃使硅片在空氣中容易受潮,導(dǎo)致電流的降低和功率的衰減
3死層的存在大大增加了發(fā)射區(qū)電子的復(fù)合,會(huì)導(dǎo)致少子壽命的降
4磷硅玻璃的存在使得PECVD后產(chǎn)生色差。
使用去磷硅玻璃(PSG)清洗機(jī)注意事項(xiàng):1,及時(shí)甩干,避免水文印。2,注意硅片正反方向不要差錯(cuò)。
蘇州晶洲裝備科技
公司,大量銷售全自動(dòng)去磷硅玻璃(PSG)
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