萬級(jí)潔凈車間廠家 D級(jí)潔凈車間裝修
公司\萬級(jí)潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
萬級(jí)潔凈車間廠家 D級(jí)潔凈車間裝修公司\萬級(jí)潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。
萬級(jí)潔凈車間廠家 D級(jí)潔凈車間裝修公司每立方米將小于.微米粒徑的微塵數(shù)量控制在個(gè)以下,就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí),這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。.uM及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的K級(jí)別。
潔凈室按其氣流狀態(tài)來區(qū)分,主要分為亂流(非單向流)潔凈室、單向流潔凈室和輻流潔凈室(也有稱矢流潔凈室的),這一節(jié)主要討論亂流潔凈室。前面已經(jīng)指出,不論是哪一種潔凈室,都是紊流流態(tài)。那為什么不都叫紊流潔凈室呢?
萬級(jí)潔凈車間廠家 D級(jí)潔凈車間裝修公司亂流潔凈室的名稱是借用于日文,但是日文的亂流就是紊流的意思,而中國最早在《空氣潔凈技術(shù)措施》中正式采用的亂流一詞是兼有紊流的含義而不同于流體力學(xué)上的紊流這一專有名詞?,F(xiàn)在國際上則習(xí)慣稱這種潔凈室為非單向流潔凈室。
所謂亂流潔凈室,一般包括以下各種送風(fēng)形式:
⑴高效過濾器頂送(有擴(kuò)散板和無擴(kuò)散板
?、屏骶€型散流器頂進(jìn)
⑶局部孔板頂送
?、葌?cè)送
具有這些送風(fēng)形式的潔凈室,如以雷諾數(shù)判斷,顯然屬于紊流流態(tài),但是如果把它們稱為紊流潔凈室就不合適。氣流沿整個(gè)頂棚下送,室內(nèi)速度達(dá)到.m/s 以上,這種室內(nèi)的流動(dòng)狀態(tài)也是紊流,但在后面就會(huì)搞清楚,雖然這兩種送風(fēng)方式都造成室內(nèi)紊流流態(tài),但是就其凈化室內(nèi)空氣的原理來說,卻是根本不同的,后者屬于單向流或平行流潔凈室的凈化原理。所以如果把前者稱為紊流潔凈室,則后者也應(yīng)被包含進(jìn)去了。
亂流萬級(jí)潔凈室的主要特點(diǎn)是從來流到出流(從送風(fēng)口到回風(fēng)口)之間氣流的流通截面是變化的,潔凈室截面比送風(fēng)口截面大得多,因而不能在全室截面或者在全室工作區(qū)截面形成勻速氣流。所以,送風(fēng)口以后的流線彼此有很大或者越來越大的夾角,曲率半徑很小,氣流在室內(nèi)不可能以單一方向流動(dòng),將會(huì)彼此撞擊,將有回流、旋渦產(chǎn)生。這就決定亂流潔凈室的流態(tài)實(shí)質(zhì)是:突變流;非均勻流。
這比用紊流來描述亂流潔凈室更確切、更全面。紊流主要決定于雷諾數(shù),也就是主要受流速的影響,但是如果采用一個(gè)高效過濾器頂送的送風(fēng)形式,則即使流速極低,也要產(chǎn)生上述各種結(jié)果,這就因?yàn)樗且粋€(gè)突變流和非均勻流。因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動(dòng)而發(fā)生的摻混,而且還有全室范圍內(nèi)的大的回流、旋渦所發(fā)生的摻混。
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