唐山正壓潔凈室 唐山負(fù)壓潔凈室唐山防靜電潔凈室復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣?！ 、艥崈羲淼溃–lean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用?！ 〈诵褪叫鑼⒆鳂I(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式?！ 崈羲淼懒碛卸?xiàng)優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴(kuò)充容易；B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行?！ 、茲崈艄艿溃–lean Tube）：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級(jí)提至級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。 ?、遣⒀b局部潔凈室（Clean Spot）：將潔凈室等級(jí),~,之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為~級(jí)以上，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺(tái)、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類?！ 崈艄ぷ髋_(tái)：等級(jí)Class ~級(jí)。 潔凈工作棚：為在亂流式之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨(dú)立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較高級(jí)之潔凈空間，其等級(jí)為~級(jí)，高度在.米左右，覆蓋面積約m以下，四支支柱并加裝活動(dòng)輪，可為彈性運(yùn)用。氣流的流動(dòng)
氣流的重要性
唐山正壓潔凈室 唐山負(fù)壓潔凈室唐山防靜電潔凈室潔凈室的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機(jī)器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動(dòng)、擴(kuò)散受到氣流的支配。 潔凈室系利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵埃的收集率達(dá).~.%之多，因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內(nèi)除了人以外，尚有機(jī)器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴(kuò)散，即無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。風(fēng)速的控制
潔凈室內(nèi)的氣流是左右潔凈室性能的重要因素，一般潔凈室的氣流速度是選.~.m/s之間，此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域，易受人、機(jī)器等的動(dòng)作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風(fēng)速的提高，將影響運(yùn)轉(zhuǎn)成本的增加，所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時(shí)，能以最適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)，以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果。 另一方面欲達(dá)到潔凈室潔凈度之穩(wěn)定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法保持，表示風(fēng)速有異，特別是在壁面，氣流會(huì)延著壁面發(fā)生渦流作用，此時(shí)要實(shí)現(xiàn)高潔凈度事實(shí)上很困難?！ 〈怪睂恿魇椒较蛞３志粴饬鞅仨殻海╝）吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異；（b）地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過低或過高（.m/s，.m/s）均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生，而.m/s之速度，氣流則較均一，目前一般潔凈室，其風(fēng)速均取在.~.m/s之間。
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