光學(xué)微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給于特別設(shè)計(jì)之密閉空間。
光學(xué)微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室,目前已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來,由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展,對(duì)于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項(xiàng)目,而我公司的設(shè)計(jì)理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于領(lǐng)先地位。
江西佰地信環(huán)境工程有限公司
電子無塵車間設(shè)計(jì)規(guī)范依據(jù):
1、國際標(biāo)準(zhǔn)《ISO/DIS 14644》
2、潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范《GB50073-2001》
3、工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范《GMP-97》
4、生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范《GMP-98》
5、潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范《JGJ 71-90》
6、通風(fēng)與空調(diào)工程施工及驗(yàn)收規(guī)范《GB 50243-2002》
7、美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)《FS209E-92》
電子無塵車間凈化參數(shù):
換氣次數(shù):100000級(jí)≥15次;10000級(jí)≥20次;1000級(jí)≥30次;
壓差:主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa;
平均風(fēng)速:10級(jí)、100級(jí)0.3-0.5m/s;
溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動(dòng)±2℃;
濕度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電;
噪聲≤65dB(A);
新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX。
電子無塵車間結(jié)構(gòu)材料:
1、凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng);圓弧墻、角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。
2、地面采用環(huán)氧自流坪地坪或高級(jí)耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
3、送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4、高效送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。