激光微孔打孔加工 激光微孔打孔加工過程 費米供
產品特點: 1. 精心選用進口高功率高穩(wěn)定性光纖激光器,接近衍射極限光束質量,是微孔加工理想光源 2. 進口高速精密振鏡和精密遠心場鏡,保證打孔一致性和重復精度; 3. 精密視覺檢測和校正功能,保證系統(tǒng)長期精度,檢測孔徑,方便工藝調試; 4. 直線電機XY平臺,長期免維護,微米級定位和重復精度,擴展加工幅面; 5. 出色的控制系統(tǒng),優(yōu)異的加工路徑優(yōu)化功能,使得微孔尺寸和圓度精度在2微米以內。 高功率光纖激光器發(fā)射激光,振鏡高速精密偏轉激光,配合精密遠心場鏡聚焦,實現(xiàn)對薄板材料(厚度小于1mm,鋁、銅、不銹鋼、各類陶瓷等)高速精密切割打孔和沖擊打孔,通過直線XY平臺擴展加工幅面,小孔徑至0.02mm,孔的一致性,切割光滑,孔壁垂直性好。 激光精密微孔加工相比電火花微細孔加工、機械鉆孔、化學腐蝕、機械沖孔等等,具有以下優(yōu)點: 高速(高每秒4000孔) 高精度(<3μm) 無材料限制(金屬、陶瓷、硅片、有機物等等) 孔型可編程(小5μm、特定錐度孔) 分布可定制(加工幅面300mm*300mm),無需模具和掩膜 無污染無耗材 直接加工 費米激光提供的激光微孔打孔設備,小加工微孔孔徑(線寬)5μm,整體加工精度±4μm,局部特征精度<3μm,加工幅面300*300mm,用于金屬、陶瓷、硅片、玻璃、有機物等材料精密盲孔、通孔、開槽、切割加工等。 主要用于:半導體柔性電路板切割、ITO膜層蝕刻、微電子器件制造、印刷模板制備、生物芯片制備、精密模具成型、精密儀器儀表
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