等離子

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．STN-LCD、TFT-LCD、OLED或PDP之COG或OLB制程前的ITO電極表面清潔

．COF (ILB) 或COB制程的電極表面清潔

．LCD或OLED的玻璃清潔

．IC封裝（Flip Chip, CSP, BGA, TCP, or Lead Frame, etc.）或LED封裝的表面清潔或改質(zhì)

．PCB的表面清潔、活化、改質(zhì)或去殘膠

．晶圓的表面清潔或去光阻

等離子體技術(shù)行業(yè)應(yīng)用

等離子體和固體、液體或氣體一樣，是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的'活性'組分包括：離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子體表面處理儀就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等目的。

空氣等離子表面處理機(jī)

尺寸： (L*W*H) 604*379*162

輸出功率：290~1000W

有效清潔范圍：5-200mm(寬幅需定制）

電源：?jiǎn)蜗?00~240V，10A

產(chǎn)品描述：此為我公司新一代PTI(Plasmatechnics)空氣源等離子表面清洗設(shè)備，可配合自動(dòng)化線(xiàn)進(jìn)行在線(xiàn)清洗，并可以通過(guò)串口進(jìn)行遠(yuǎn)程設(shè)備控制。該設(shè)備配有自動(dòng)報(bào)警裝置及錯(cuò)誤提示，易于操作。

等離子體清洗的機(jī)理

主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用”達(dá)到去除物體表面污漬的目的。就反應(yīng)機(jī)理來(lái)看，等離子體清洗通常包括以下過(guò)程：無(wú)機(jī)氣體被激發(fā)為等離子態(tài)；氣相物質(zhì)被吸附在固體表面；被吸附基團(tuán)與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子；產(chǎn)物分子解析形成氣相；反應(yīng)殘余物脫離表面。

等離子體清洗技術(shù)的最‘大特點(diǎn)是不分處理對(duì)象的基材類(lèi)型，均可進(jìn)行處理，對(duì)金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料，如聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環(huán)氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理，并可實(shí)現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。