【涂覆加工】涂覆加工深圳東田
Parylene采用一種獨特的化學氣相沉積工藝(CVD),CVD工藝最早應(yīng)用在半導體工業(yè)的外延生長,整個過程是氣態(tài)反應(yīng),又在真空條件下進行,因而可以獲得非常均勻的涂層,達到其它方法難以實現(xiàn)的同形性。
氣態(tài)單體進入沉積腔室,首先彌漫在工件表面,當吸附到各個表面后開始聚合和結(jié)晶,直接形成固體,避免了液相的出現(xiàn),清除了厚度的不均勻和涂層中的缺陷.
Parylene是在專用的真空氣相沉積設(shè)備中,通過升華(120℃/1.33Mpa)→裂解(650℃/1.33Mpa)→氣化(120℃/1.33Mpa)→沉淀涂層(25℃/1.33Mpa)→ 這幾個步驟來完成對工件表面的涂膜。
1,在真空狀態(tài)下和120度的條件下將固態(tài)原料升華成氣態(tài)
2,在650度將氣態(tài)原料裂解成具有反應(yīng)特性的活性單體。
3,活性單體在室溫條件下沉積并聚合
涂膜的工藝特點:
與通常的浸涂、噴涂、電鍍、電泳等工藝不同的是,該工藝在預處前無需對工件進行酸洗、磷化,有效地防止了工件內(nèi)因殘留酸和水及氧氣而引起的由內(nèi)而外的腐蝕現(xiàn)象。
由于Parylene是在真空環(huán)境中作氣相沉積,因而陡直的邊沿、裂縫、還是細微的***內(nèi)壁,都能進行有效的滲透,且各處均勻一致。其生成的透明膜層厚度可以輕易地控制在0.1-100微米之內(nèi)。
PARYLENE膜層的主要特點:
★可形成無***膜層; ★可得到極薄的膜層;
★可精確地控制膜層厚度; ★各處厚度均勻一致;
★有極好的防潮濕性能; ★可以抗風化
★可防止產(chǎn)品表面微粒脫落; ★材料無色并高透明度;
★具有極高的絕緣強度; ★ 高熱穩(wěn)定性(使用溫度可高達400℃)
深圳市東田精密光電有限
公司
電話:13823121472
聯(lián)系人:張小姐 QQ:1311719714
傳真:0755-28110952
網(wǎng)站:www.dt-parylene.com
地址:深圳市寶安區(qū)龍華大浪賴屋山第一工業(yè)區(qū)一棟