超純水最初是美國(guó)科技界為了研制超純材料(半導(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)生產(chǎn)出來(lái)的水,如今超純水已在生物、醫(yī)藥、汽車等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。這種水中除了水分子(H20)外,幾乎沒(méi)有什么雜質(zhì),更沒(méi)有細(xì)菌、病毒、含氯二惡英等有機(jī)物,當(dāng)然也沒(méi)有人體所需的礦物質(zhì)微量元素。超純水,是一般工藝很難達(dá)到的程度,如水的電阻率大于18MΩ*cm,接近于18.3MΩ*cm則稱為超純水。目前,制備超純水的方法通常采用反滲透,去離子或電去離子(EDI)等工藝。電子行業(yè)超純水常規(guī)制備工藝
1)采用離子交換方式,其流程如下:
原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器(阻垢劑)→精密過(guò)濾器→陽(yáng)樹(shù)脂過(guò)濾床→陰樹(shù)脂過(guò)濾床→陰陽(yáng)樹(shù)脂混床→純水箱→純水泵→微孔過(guò)濾器→用水點(diǎn)
2)采用反滲透加離子交換方式,其流程如下:
原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器(阻垢劑)→精密過(guò)濾器→反滲透機(jī)→陰陽(yáng)樹(shù)脂混床→純水箱→純水泵→微孔過(guò)濾器→用水點(diǎn)
3)采用反滲透加EDI方式,其流程如下:
原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器(阻垢劑)→精密過(guò)濾器→反滲透機(jī)→EDI系統(tǒng)→拋光混床→純水箱→純水泵→微孔過(guò)濾器→用水點(diǎn)應(yīng)用領(lǐng)域
?化工材料的生產(chǎn)和加工過(guò)程所用的溶劑及清洗過(guò)程 ?超純材料和超純化學(xué)試劑勾兌用超純水 ?實(shí)驗(yàn)室和中試車間用超純水
?半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水 ?石英、硅材料生產(chǎn)、加工、提純 ?高純墨水、傳真打印機(jī)中的噴墨、納米墨水
?汽車、家電表面拋光處理 ?光電子產(chǎn)品; ?日用化妝品生產(chǎn)用水 ?其他高科技精微產(chǎn)品;
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