5噸純水設(shè)備

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離子交換樹脂產(chǎn)品種類繁多，按照不同的標(biāo)準(zhǔn)，其分類方法也不同。我國(guó)于2009年2月1日開始實(shí)施新的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范。離子交換樹脂的合成新研發(fā)出的新型工藝主要有互貫聚合工藝、后交聯(lián)工藝等。目前國(guó)內(nèi)出現(xiàn)一些新型離子交換樹脂，如反常規(guī)均粒混床樹脂、兩性功能基團(tuán)離子交換樹脂、凝膠型炭黑陽(yáng)離子交換樹脂、核級(jí)離子交換樹脂及變色樹脂。離子交換樹脂的應(yīng)用越來越廣泛，除了在常規(guī)的凈水處理、廢水處理等領(lǐng)域發(fā)揮重要作用外，在電子行業(yè)的超純水設(shè)備上也有著廣泛的應(yīng)用。

影響電子級(jí)超純水精制混床離子交換樹脂出水的因素有:樹脂顆粒均一度、運(yùn)行流速、進(jìn)水質(zhì)量、樹脂混合均勻度、陰陽(yáng)樹脂比例等。本文對(duì)影響電子級(jí)超純水精制混床離子交換樹脂出水質(zhì)量的部分工藝條件進(jìn)行了一系列的試驗(yàn)，主要研究了進(jìn)水水質(zhì)、運(yùn)行流量和樹脂粒度均勻性等對(duì)樹脂出水的影響情況?！緤W凱電子行業(yè)超純水設(shè)備】

用戶在采購(gòu)超純水設(shè)備之前首先要了解自己的用水要求，最主要的是水質(zhì)的電阻率或電導(dǎo)率是多少以及是否有其他要求（如顆粒、熱原等）。目前國(guó)內(nèi)實(shí)驗(yàn)室用水主要有國(guó)標(biāo)GB6682-2008，其對(duì)實(shí)驗(yàn)室用水分為三級(jí)，分別對(duì)電導(dǎo)（電阻）、pH值、可氧化物、吸光度、可溶性硅及蒸發(fā)殘?jiān)髁艘?。根?jù)用水級(jí)別的不同，用戶可以選擇對(duì)應(yīng)的超純水機(jī)（一級(jí)水）、EDI純水機(jī)（二級(jí)水）和RO純水機(jī)（三級(jí)水）。

除此之外，進(jìn)水水質(zhì)也是必須考慮的因素。通常需要根據(jù)自來水雜質(zhì)含量配置不同的預(yù)處理系統(tǒng)。高硬度的自來水需要加裝軟化系統(tǒng)，多泥沙顆粒的自來水需要添加石英砂過濾系統(tǒng)，為了保證進(jìn)到反滲透膜里的水質(zhì)需要在自來水末端添加保安過濾等等。預(yù)處理設(shè)備的耗材壽命通常都比較短，為了維護(hù)方便，盡量使用一體化的高效耗材。

其他應(yīng)考慮的因素是：技術(shù)支持、售后服務(wù)以及系統(tǒng)的驗(yàn)證校驗(yàn)支持等。

隨著超純水技術(shù)在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用口益廣泛，半導(dǎo)體制造單位對(duì)超純水的要求也越來越高。半導(dǎo)體行業(yè)是一個(gè)高能耗的行業(yè)。在半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過程中，由于生產(chǎn)設(shè)備的精密性和生產(chǎn)工藝的復(fù)雜性，對(duì)其配套設(shè)施提出了很高的要求，尤其對(duì)作為半導(dǎo)體行業(yè)血脈的超純水系統(tǒng)更是高之又高。

1超純水制造工藝

半導(dǎo)體行業(yè)超純水制造工藝可以概述為4個(gè)部分，分別為預(yù)處理部分、RO部分、電去離子部分和拋光混床部分。在有些半導(dǎo)體廠中，也有用“陰床十陽(yáng)床”代替電去離子裝置的，主要根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)水水質(zhì)對(duì)弱電解質(zhì)的要求而定，這里主要探討常用的電去離子工藝川。

1.1預(yù)處理部分

預(yù)處理的作用是對(duì)原水進(jìn)行粗加工.提供符合Ro進(jìn)水要求的給水。其主要用來去除原水中的懸浮物、膠體，使SD≤4;去除游離氯等氧化性物質(zhì);去除部分有機(jī)物;降低LSI ,避免碳酸鹽結(jié)垢。

在超純水制造工藝中，傳統(tǒng)預(yù)處理方式是“多介質(zhì)過濾器+活性炭過濾器”。而該半導(dǎo)體制造廠采用了“粗過濾器+超濾裝置”作為超純水系統(tǒng)的預(yù)處理部分，主要原因如下:

(I)傳統(tǒng)的預(yù)處理過程中SDI值不好控制，一般>5，不利于后續(xù)的一級(jí)反滲透系統(tǒng)的運(yùn)行;而超濾裝置的出水SDI值比較穩(wěn)定(}1)，能夠有效地保證一級(jí)反滲透系統(tǒng)的運(yùn)行。

(2)傳統(tǒng)的預(yù)處理方式占地而積大，而“粗過濾器+超濾裝置”占地而積小，節(jié)約了基建費(fèi)用。

(3)與傳統(tǒng)的預(yù)處理方式在更換填料時(shí)需要大量的人力和物力相比，超濾裝置的更換比較方便。

(4)近年來，由于超濾技術(shù)的不斷成熟，系統(tǒng)能夠穩(wěn)定安全地運(yùn)行，而且超濾膜的價(jià)格也有了大幅度的降低，在一次性投資和運(yùn)行維護(hù)費(fèi)用上跟傳統(tǒng)的預(yù)處理方式相比差不多。