純水設(shè)備

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隨著超純水技術(shù)在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用口益廣泛，半導(dǎo)體制造單位對(duì)超純水的要求也越來(lái)越高。半導(dǎo)體行業(yè)是一個(gè)高能耗的行業(yè)。在半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過(guò)程中，由于生產(chǎn)設(shè)備的精密性和生產(chǎn)工藝的復(fù)雜性，對(duì)其配套設(shè)施提出了很高的要求，尤其對(duì)作為半導(dǎo)體行業(yè)血脈的超純水系統(tǒng)更是高之又高。

1超純水制造工藝

半導(dǎo)體行業(yè)超純水制造工藝可以概述為4個(gè)部分，分別為預(yù)處理部分、RO部分、電去離子部分和拋光混床部分。在有些半導(dǎo)體廠中，也有用“陰床十陽(yáng)床”代替電去離子裝置的，主要根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)水水質(zhì)對(duì)弱電解質(zhì)的要求而定，這里主要探討常用的電去離子工藝川。

1.1預(yù)處理部分

預(yù)處理的作用是對(duì)原水進(jìn)行粗加工.提供符合Ro進(jìn)水要求的給水。其主要用來(lái)去除原水中的懸浮物、膠體，使SD≤4;去除游離氯等氧化性物質(zhì);去除部分有機(jī)物;降低LSI ,避免碳酸鹽結(jié)垢。

在超純水制造工藝中，傳統(tǒng)預(yù)處理方式是“多介質(zhì)過(guò)濾器+活性炭過(guò)濾器”。而該半導(dǎo)體制造廠采用了“粗過(guò)濾器+超濾裝置”作為超純水系統(tǒng)的預(yù)處理部分，主要原因如下:

(I)傳統(tǒng)的預(yù)處理過(guò)程中SDI值不好控制，一般>5，不利于后續(xù)的一級(jí)反滲透系統(tǒng)的運(yùn)行;而超濾裝置的出水SDI值比較穩(wěn)定(}1)，能夠有效地保證一級(jí)反滲透系統(tǒng)的運(yùn)行。

(2)傳統(tǒng)的預(yù)處理方式占地而積大，而“粗過(guò)濾器+超濾裝置”占地而積小，節(jié)約了基建費(fèi)用。

(3)與傳統(tǒng)的預(yù)處理方式在更換填料時(shí)需要大量的人力和物力相比，超濾裝置的更換比較方便。

(4)近年來(lái)，由于超濾技術(shù)的不斷成熟，系統(tǒng)能夠穩(wěn)定安全地運(yùn)行，而且超濾膜的價(jià)格也有了大幅度的降低，在一次性投資和運(yùn)行維護(hù)費(fèi)用上跟傳統(tǒng)的預(yù)處理方式相比差不多。

純凈水設(shè)備的功能解析　　

1、純凈水設(shè)備采用石英砂多介質(zhì)過(guò)濾器，主要目的是去除源水中含有的泥沙、鐵銹、膠體物質(zhì)、懸浮物等顆粒在20m以上對(duì)人體有害的物質(zhì)，系統(tǒng)可以自動(dòng)(手動(dòng))進(jìn)行反沖洗，正沖洗等一系列操作。

2、純凈水設(shè)備采用果殼活性炭過(guò)濾器，目的是為了去除水中的色素、異味、生化有機(jī)物、降低水的余氯值及農(nóng)藥污染和其他對(duì)人體有害的污染物。系統(tǒng)可以自動(dòng)(手動(dòng))進(jìn)行反沖洗，正沖洗等一系列操作。

3、純凈水設(shè)備采用陽(yáng)樹(shù)脂對(duì)水進(jìn)行軟化，主要是降低水的硬度，去除水中的鈣、鎂離子(形成水垢的主要成分)，可有效延長(zhǎng)反滲透膜的使用壽命，并可進(jìn)行智能化樹(shù)脂再生。

4、純凈水設(shè)備采用5um孔徑精密過(guò)濾器，使水得到進(jìn)一步的凈化，使水的濁度和色度達(dá)到優(yōu)化。保證RO系統(tǒng)進(jìn)水條件要求，保證設(shè)備的產(chǎn)水質(zhì)量，延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命。

5、純凈水設(shè)備采用反滲透技術(shù)進(jìn)行深度脫鹽處理(進(jìn)口美國(guó)反滲透膜)去除鈣、鎂、鉛、汞等對(duì)人體有害的重金屬物質(zhì)及其他雜質(zhì)，降低水的硬度，脫鹽率達(dá)99%以上，生產(chǎn)出符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的純凈水。

隨著超純水技術(shù)在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用口益廣泛，半導(dǎo)體制造單位對(duì)超純水的要求也越來(lái)越高。半導(dǎo)體行業(yè)是一個(gè)高能耗的行業(yè)。在半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過(guò)程中，由于生產(chǎn)設(shè)備的精密性和生產(chǎn)工藝的復(fù)雜性，對(duì)其配套設(shè)施提出了很高的要求，尤其對(duì)作為半導(dǎo)體行業(yè)血脈的超純水系統(tǒng)更是高之又高。

1超純水制造工藝

半導(dǎo)體行業(yè)超純水制造工藝可以概述為4個(gè)部分，分別為預(yù)處理部分、RO部分、電去離子部分和拋光混床部分。在有些半導(dǎo)體廠中，也有用“陰床十陽(yáng)床”代替電去離子裝置的，主要根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)水水質(zhì)對(duì)弱電解質(zhì)的要求而定，這里主要探討常用的電去離子工藝川。

1.1預(yù)處理部分

預(yù)處理的作用是對(duì)原水進(jìn)行粗加工.提供符合Ro進(jìn)水要求的給水。其主要用來(lái)去除原水中的懸浮物、膠體，使SD≤4;去除游離氯等氧化性物質(zhì);去除部分有機(jī)物;降低LSI ,避免碳酸鹽結(jié)垢。

在超純水制造工藝中，傳統(tǒng)預(yù)處理方式是“多介質(zhì)過(guò)濾器+活性炭過(guò)濾器”。而該半導(dǎo)體制造廠采用了“粗過(guò)濾器+超濾裝置”作為超純水系統(tǒng)的預(yù)處理部分，主要原因如下:

(I)傳統(tǒng)的預(yù)處理過(guò)程中SDI值不好控制，一般>5，不利于后續(xù)的一級(jí)反滲透系統(tǒng)的運(yùn)行;而超濾裝置的出水SDI值比較穩(wěn)定(}1)，能夠有效地保證一級(jí)反滲透系統(tǒng)的運(yùn)行。

(2)傳統(tǒng)的預(yù)處理方式占地而積大，而“粗過(guò)濾器+超濾裝置”占地而積小，節(jié)約了基建費(fèi)用。

(3)與傳統(tǒng)的預(yù)處理方式在更換填料時(shí)需要大量的人力和物力相比，超濾裝置的更換比較方便。

(4)近年來(lái)，由于超濾技術(shù)的不斷成熟，系統(tǒng)能夠穩(wěn)定安全地運(yùn)行，而且超濾膜的價(jià)格也有了大幅度的降低，在一次性投資和運(yùn)行維護(hù)費(fèi)用上跟傳統(tǒng)的預(yù)處理方式相比差不多。