無塵室工程(Clean Room),亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎。沒有無塵室,污染敏感零件不可能批量生產。在 FED-STD-2里面,無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔凈度級別。無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間編輯本段無塵室構成 無塵室的構成是由下列各項系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的),否則將無法構成一完整且品質良好的無塵室:?、盘旎ò逑到y(tǒng) 包括吊桿(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)?!、瓶照{系統(tǒng) 包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風車等?!、歉魤Π澹?/span>Partitional wall) 包括窗戶、門?!、鹊匕濉“ǜ呒艿匕寤蚍漓o電地板、以及環(huán)氧自流平及滾涂地面?!、烧彰髌骶摺“ㄈ展鉄?、黃色燈管等。?、薀o塵室之建筑主體構造 一般是用鋼筋或骨水泥,但無論是何種構造,必須滿足如下之條件: A.不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕; B.不易產生微塵粒子,且很難附著粒子; C.吸濕性??; D.為了維持室內之濕度條件,熱絕緣性要高