5.0N電子級***

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  ***氣體為強刺激性，不燃氣體，溶水后有強烈腐蝕性。產(chǎn)品包裝于高壓專用鋼瓶中，處于液態(tài)。專用鋼瓶為鋼質無縫氣瓶，瓶內拋光處理。瓶閥為抗腐蝕不銹鋼隔膜閥。鋼瓶設計壓力為12.5Mpa,工作壓力約5-6Mpa。

  電子級(VLSI)***產(chǎn)品生產(chǎn)裝置于2003年投產(chǎn)，經(jīng)北京市科委鑒定，主要用于半導體器件生產(chǎn)中單晶硅片的氣相拋光、外延基座腐蝕及硬質合金制造。電子級(VLSI)***產(chǎn)品生產(chǎn)裝置于2003年投產(chǎn)，經(jīng)北京市科委鑒定，主要用于半導體器件生產(chǎn)中單晶硅片的氣相拋光、外延基座腐蝕及硬質合金制造。5.0N電子級(VLSI)***產(chǎn)品分別經(jīng)國家標準物質研究中心和信息產(chǎn)業(yè)部專用材料質量監(jiān)督檢驗中心抽樣檢驗，純度大于99.999%，總雜質含量小于5ppm，產(chǎn)品性能指標與國 際品牌相當。5.0N電子級(VLSI)***產(chǎn)品經(jīng)國內外多家半導體重點企業(yè)連續(xù)大量在單晶硅片氣相拋光和外延基座腐蝕工藝中廣泛使用，制得的器件產(chǎn)品質量與國際知名品牌相當。

  ***產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝為本公司專利技術，具有自主知識產(chǎn)權，填補了國內高純***產(chǎn)品生產(chǎn)空白。***產(chǎn)品參照SEMIC3.35-1101HCl標準，并執(zhí)行國家標準GB/T24469-2009(電子級)和企業(yè)標準Q/ZWDL001-2006(化學級)。***產(chǎn)品采用HCl專用鋼瓶包裝，鋼瓶符合國標GB5099-1994或DOT3AA標準，瓶閥為316L不銹鋼隔膜式閥，接口為CGA330。本公司提供***專用配套設施、設備、閥門、減壓器，并提供優(yōu)質技術服務和售后服務。本公司具有完備的***專用鋼瓶脫水設備和技術，為客戶提供鋼瓶處理和維修服務。