硅片拋光機(jī):1.本系列研磨機(jī)的上、下研磨盤可進(jìn)行自動(dòng)修盤。2.采用四個(gè)電機(jī)同步拖動(dòng),變速范圍更廣,運(yùn)動(dòng)精度更高,響應(yīng)速度更快,能適應(yīng)不同研磨材料及研磨工藝的要求,實(shí)現(xiàn)了軟啟動(dòng)、軟停止,調(diào)速穩(wěn)定,沖擊小。3.修面機(jī)采用伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng),能確保油壓懸浮導(dǎo)軌滑動(dòng)更加平穩(wěn),得到的平面修整效果非好。
4.控制系統(tǒng)中采用DSP、Web-Link、彩色
終端等先進(jìn)技術(shù),系統(tǒng)的響應(yīng)速度更快、更精確,并具有遠(yuǎn)程監(jiān)控,遠(yuǎn)程維護(hù)功能;5.本系列研磨機(jī)有光柵厚度控制系統(tǒng),加工后的產(chǎn)品厚度公差可控制在±0.002mm范圍內(nèi)。
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