| 服務(wù)項(xiàng)目 | 瀏覽量1 | 發(fā)布時(shí)間2014-09-10 |
| 品牌SMI | 所在地廣東 深圳 | 起訂≥1 公斤 |
| 供貨總量未填 | 發(fā)貨0天內(nèi)發(fā)貨 | 有效期至2025-03-09 |
SM5651/SM5652壓阻式壓力傳感器
SM5651/SM5652為OEM壓力傳感器，完全校準(zhǔn)和溫度補(bǔ)償微差壓雙列直插高性能壓力傳感器。
SM5651/SM5652系列為陶瓷基底貼裝高穩(wěn)定壓阻式壓力傳感器芯片，利用陶瓷基板上的薄膜電阻進(jìn)行零度校正、零點(diǎn)溫度補(bǔ)償和靈敏度溫度補(bǔ)償。SM5651只能用恒流驅(qū)動(dòng)，一個(gè)額外的電阻修剪正常化的外部差分放大器的輸出提供了跨度校準(zhǔn)。而SM5652在恒壓激勵(lì)下對輸出信號很容易進(jìn)行放大。
SM5651芯片有額外的增益電阻，采用恒流激勵(lì)，SM5652采用恒壓激勵(lì)。
特點(diǎn) 應(yīng)用
l 微壓0.15psi、0.30psi、0.80psi、1.50psi、和3.0psi l 恒流或恒壓激勵(lì) l 溫度補(bǔ)償范圍寬（0-60℃） l 跨度校準(zhǔn)正高達(dá)±2% l 零點(diǎn)校準(zhǔn)及溫度補(bǔ)償 l 高性能、穩(wěn)定的硅芯片封裝 l 表壓和差壓配置 |
l 醫(yī)療設(shè)備 l 呼吸機(jī)、麻醉機(jī)和監(jiān)護(hù)儀 l HVAC（空調(diào)） l 水平監(jiān)測 l 流量測量 l 工業(yè)控制 l 微差壓變送器 |
性能參數(shù)
測試的條件是：SM5651激勵(lì)電流源為1.5mA，室溫為25℃；SM5652激勵(lì)電壓源為10.00V DC，室溫25℃，除非另有規(guī)定。
|
最小值 |
典型值 |
最大值 |
單位 |
激勵(lì)源 |
|
|||
激勵(lì)電壓源 DC（SM5652） |
>0 |
10.00 |
20.00 |
V |
激勵(lì)電流源 DC（SM5651） |
>0 |
1.50 |
3.00 |
mA |
滿量程輸出 |
|
|||
SM5651滿量程輸出 |
25.0 |
45.0 |
75.0 |
mV |
SM5652滿量程輸出 |
24.5 |
25.0 |
25.5 |
mV |
零點(diǎn)輸出 |
-2.00 |
+0.20 |
2.00 |
mV |
溫度系數(shù) |
|
|||
滿量程溫度系數(shù) |
-0.65 |
+0.20 |
0.65 |
%FS |
零點(diǎn)溫度系數(shù) |
-1.00 |
+0.20 |
1.00 |
%FS |
溫度遲滯性 |
-0.30 |
+0.05 |
0.30 |
%FS |
準(zhǔn)確度 |
|
|||
線性度（非線性誤差） |
-0.30 |
+0.05 |
+0.30 |
%FS |
重復(fù)性 |
-0.30 |
+0.05 |
+0.30 |
%FS |
壓力遲滯性 |
-0.30 |
+0.05 |
+0.30 |
%FS |
靈敏度匹配性 |
-2.0 |
-0.2 |
+2.0 |
%FS |
阻抗（SM5651） |
|
|||
輸入阻抗 |
1.80 |
3.00 |
3.80 |
kΩ |
輸出阻抗 |
2.70 |
3.30 |
3.80 |
kΩ |
阻抗（SM5652） |
|
|
|
|
輸入阻抗 |
4.50 |
8.00 |
25.00 |
kΩ |
輸出阻抗 |
2.00 |
2.50 |
3.80 |
kΩ |
溫度范圍 |
|
|||
補(bǔ)償溫度 |
+0 |
|
+60 |
℃ |
工作溫度 |
-40 |
|
+125 |
℃ |
存儲溫度 |
-40 |
|
+125 |
℃ |
動(dòng)力特性 |
|
|
|
|
耐壓 |
10ⅹ |
|
|
Rated FS |
爆破壓力 |
15ⅹ |
|
|
Rated FS |
備注：
1、正壓指的是從晶圓底部進(jìn)入；增益，在工廠校準(zhǔn)使用的是負(fù)壓
2、對于SM5652,量程為0.15psi的滿量程輸出是23.75mV(最小)至26.25（最大）
3、測量溫度超過22~58℃
對于量程為0.15psi，滿量程溫度系數(shù)為±2%FS；零點(diǎn)溫度系數(shù)為±2%FS；對于量程為0.3psi，滿量程溫度系數(shù)為±0.75%FS
4、對于量程為0.3psi，遲滯性為±0.45%FS；對于量程為0.15psi，遲滯性為±0.65%FS
5、最佳直線擬合，是從晶圓頂部測量的
對于量程為0.3psi，線性度為±0.5%FS；對于量程為0.15psi，線性度為±2.5%FS
6、靈敏度匹配指的是部分與部分匹配的程度，對于量程為0.15psi，靈敏度匹配性為5.0%FS
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