勻膠機(jī) 旋涂儀 甩膠機(jī)

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SC100標(biāo)準(zhǔn)型勻膠機(jī) 旋涂儀 甩膠機(jī) 旋轉(zhuǎn)涂膜儀 勻膠臺(tái)的詳細(xì)描述：

不銹鋼外殼比塑料或者鍍漆金屬更耐久和美觀；工業(yè)級(jí)別200瓦伺服電機(jī)系統(tǒng)，采用于track設(shè)備相同設(shè)計(jì)和程序，使您的工藝更具有實(shí)際應(yīng)用意義；同類產(chǎn)品中領(lǐng)先的最大達(dá)到50000RPM/S的旋轉(zhuǎn)加速度，確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定和極高的可重復(fù)性

特性優(yōu)點(diǎn)：

• 最新的內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì)，縮小了設(shè)備的尺寸。
• 7"觸屏控制面板操作系統(tǒng)，更方便操作。
• Telon ?/polyethylene “密閉碗”設(shè)計(jì)可適合各種材料勻膠工藝。
• 標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速10000rpm，并可根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制。

• 采用工業(yè)級(jí)別伺服電機(jī)，電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。
• 機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，永不生銹，便于清洗。
• 排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計(jì)于載片臺(tái)之底部 （以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性）。
• 透明可視，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時(shí)完全隔絕光阻的溢出有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。

主要性能指標(biāo)：

• 主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）
• 旋涂程序：最多可存100組程序，每組100步，每個(gè)步驟可精確到0.1秒
• 轉(zhuǎn)動(dòng)速度：0-10,000rpm(可選更高速)
• 旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）
• 馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1%
• 轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm，重復(fù)性< 1rpm
• 工藝時(shí)間設(shè)定： 0-3,000 sec/step，時(shí)間設(shè)置精度：0.1sec
• 支持wafer尺寸1cm-200mm
• 旋涂作業(yè)均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量）
• 設(shè)備尺寸  32cm W × 44cm D × 30cm H