CVD(G)系列真空高溫管式爐專門設(shè)計(jì)用于高溫CVD工藝,如ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、氮化硅渡膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、陶瓷電容器(MLCC)氣氛燒結(jié)等等。?窯爐采用氧化鋁纖維制品隔熱、保溫,國(guó)產(chǎn)優(yōu)質(zhì)硅鉬棒加熱,優(yōu)質(zhì)剛玉管爐膛,?系統(tǒng)可預(yù)抽真空,氣體采用浮子流量計(jì)控制。進(jìn)口單回路智能溫度控制儀控制,設(shè)備具有溫度均勻、控制穩(wěn)定、升溫速度快、節(jié)能、使用溫度高、壽命長(zhǎng)等特點(diǎn),是理想的科研設(shè)備。?????????????????????
一、?技術(shù)指標(biāo):
設(shè)??備?型?號(hào) |
NT-CVD(G)-08/50/1 |
溫區(qū)最高溫度?? |
1650℃;(最長(zhǎng)恒溫時(shí)間:≥10小時(shí));常用溫度:1600℃?(最長(zhǎng)恒溫時(shí)間:≥100小時(shí))??
|
加熱有效容積 |
Φ72(內(nèi)經(jīng))×500mm;恒溫區(qū)尺寸:Φ72(內(nèi)經(jīng))×250mm?? |
爐管實(shí)際尺寸 |
??Φ80(外徑)×1400mm?(國(guó)產(chǎn)優(yōu)質(zhì)剛玉管) |
爐?膛?材??料?? |
氧化鋁纖維制品
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控制溫區(qū)點(diǎn)數(shù) |
1個(gè),1支B分度熱偶 |
設(shè)備溫場(chǎng)溫差 |
±1℃?,日本島電進(jìn)口40段程序控制儀表(1只) |
加?熱??元?件 |
????優(yōu)質(zhì)硅鉬棒
|
最大加熱功率?? |
??12Kw |
保?溫?功??率 |
???5kw |
最大升溫速率 |
??3℃∽10℃/min; |
??最大降溫速率 |
3℃∽7℃/min
|
????????
溫度均勻性 |
±3℃(有效范圍:Φ72×250mm)
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氣路配件材料?? |
氣路配件材料,端頭不銹鋼發(fā)蘭密封,
一路氣體采用浮子流量計(jì)控制,?
所有管道和閥門采用不銹鋼元件 |
極?限?真??空?? |
≤10Pa(常溫)?,一級(jí)機(jī)械泵(配電磁閥)。
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壓升率 |
≤5Pa/h |
二、?
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1000時(shí)可抽真空,能通保護(hù)氮?dú)?/font>
外型參考尺寸????1250(L)×1650(H)×650(D)mm
輸入動(dòng)力電源????單相電源,50HZ?,220V±10%;10KW
爐體表面溫升???≤45℃