廈門(mén)普瑞盛電子科技有限
公司專業(yè)提供光譜型橢偏儀,可聯(lián)系廈門(mén)總公司,福州辦事處
成本低
易于安裝
基于視窗結(jié)構(gòu)的軟件,很容易操作
先進(jìn)的光學(xué)設(shè)計(jì),以確保能發(fā)揮出最佳的系統(tǒng)性能
高功率的DUV-VIS光源,能夠應(yīng)用在很寬的波段內(nèi)
基于陣列設(shè)計(jì)的探測(cè)器系統(tǒng),以確??焖贉y(cè)量
最多可測(cè)量12層薄膜的厚度及折射率
系統(tǒng)配備強(qiáng)大的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù)
對(duì)于每個(gè)被測(cè)薄膜樣品,用戶可以利用先進(jìn)的TFProbe3.3軟件功能選擇使用NK數(shù)據(jù)庫(kù)、也可以進(jìn)行色散或者有效介質(zhì)近似模型(EMA)測(cè)量分析;
能夠應(yīng)用于測(cè)量不同厚度、不同類型的基片
用于實(shí)現(xiàn)諸如數(shù)字成像、自動(dòng)mapping臺(tái)、波長(zhǎng)擴(kuò)展、聚焦光斑等功能的各種可選項(xiàng)以及附件
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造(PR,Oxide, Nitride..)
· 光學(xué)涂層,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
· 液晶顯示(ITO,PR,Cell gap... ..)
· 薄膜晶體管TFT上的層堆疊
· 醫(yī)療器械上的涂層
· 用在 MEMS/MOEMS領(lǐng)域的功能性薄膜
· 非晶體,納米材料和結(jié)晶薄膜
· 薄金屬膜