精密加工 超精密加工 超精密加工技術(shù)
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超精密加工技術(shù)是適應(yīng)現(xiàn)代高技術(shù)發(fā)展需要而發(fā)展起來的一種機(jī)械加工新工藝。它綜合了機(jī)械技術(shù)、測(cè)量技術(shù)、現(xiàn)代電子技術(shù)和計(jì)算機(jī)技術(shù)發(fā)展的新成果。超精密加工有兩種含義，一是指向傳統(tǒng)加工方法不易突破的精度界限挑戰(zhàn)的加工，即高精度加工；二是指向?qū)崿F(xiàn)微細(xì)尺寸界限挑戰(zhàn)的加工，即微細(xì)加工。超精密是一個(gè)相對(duì)概念，它的指標(biāo)隨著科技的發(fā)展而不斷提高。目前，一般認(rèn)為，加工精度高于0.1μm，粗糙度優(yōu)于0.01μm的為超精密加工，更嚴(yán)格的說，尺寸精度為IT-1（如Φ100左右時(shí)為0.25μm，粗糙度為Ra0.025μm）或更高的為超精密加工。經(jīng)過幾十年的發(fā)展，超精密加工技術(shù)目前主要包括超精密單點(diǎn)金剛石車削技術(shù)、超精密麿削技術(shù)和超精密研磨技術(shù)等等。
超精密單點(diǎn)金剛石車削技術(shù)是應(yīng)用最廣泛的超精密加工方法之一，可在一次加工后實(shí)現(xiàn)鏡面結(jié)構(gòu)，獲得最佳表面粗糙度（Ra
