產(chǎn)品介紹無(wú)塵室(Clean Room),亦稱為無(wú)塵室或清凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒(méi)有無(wú)塵室,污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在 FED-STD-里面,無(wú)塵室被定義為具備空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。無(wú)塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。 產(chǎn)品屬性無(wú)塵室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的),否則將無(wú)法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的無(wú)塵室:⑴天花板系統(tǒng)包括吊桿(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。⑵空調(diào)系統(tǒng)包括空氣艙、過(guò)濾器系統(tǒng)、風(fēng)車(chē)等。⑶隔墻板(Partitional wall)包括窗戶、門(mén)。⑷地板包括高架地板或防靜電地板、以及環(huán)氧自流平及滾涂地面。⑸照明器具包括日光燈、黃色燈管等。⑹無(wú)塵室之建筑主體構(gòu)造一般是用鋼筋或骨水泥,但無(wú)論是何種構(gòu)造,必須滿足如下之條件:A.不會(huì)因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕;B.不易產(chǎn)生微塵粒子,且很難附著粒子;C.吸濕性??;D.為了維持室內(nèi)之濕度條件,熱絕緣性要高;其他說(shuō)明無(wú)塵室中不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。無(wú)塵室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無(wú)塵室。按照國(guó)際慣例, 無(wú)塵室無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無(wú)塵是必然的要求。如表所示,每立方米將小于.微米粒徑的微塵數(shù)量控制在個(gè)以下,就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí),這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的K級(jí)別。交易說(shuō)明溫州屹誠(chéng)凈化科技有限
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