產(chǎn)品特點:
采用電阻蒸發(fā)或電子***蒸發(fā)方式,是鍍制多層光學(xué)薄膜(如彩色膜、增透膜、反光膜、金屬膜、導(dǎo)電膜等)的主要機器。廣泛應(yīng)用在相機鏡頭、手機鏡片、光學(xué)片等各個領(lǐng)域。
技術(shù)參數(shù):
▲真空室箱體:采用SUS304不銹鋼,直徑1200*1300mm,并可根據(jù)客戶要求實際定做。
▲夾具方式 :球面形狀或平面形狀,具體按照客戶的產(chǎn)品來確定。
▲蒸發(fā)源:采用電子***和熱電阻蒸發(fā)源,可根據(jù)需要配置大功率離子源、轟擊電源等輔助系統(tǒng),可進(jìn)行高精度蒸鍍。
▲膜厚控制:可選用光學(xué)膜厚測厚儀或石英晶體膜厚儀。
▲電源:配備直流電源,高壓轟擊電源,及蒸發(fā)大電流電源。
▲抽真空參數(shù):從大氣抽至5*10 ̄3Pa≤8min 極限真空度8*10 ̄4Pa
▲抽氣系統(tǒng):主要配備蘭州擴散泵,羅次泵,旋片泵,按照真空室大小確定,并可根據(jù)客戶要求靈活改變配置。
▲控制系統(tǒng):可以選用手動控制;計算機控制,觸摸屏面板控制。
▲其他:配備電熱加熱系統(tǒng),可以選配擴散泵自動油溫控制裝置。冷水機組等等