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稀有金屬區(qū)域提純爐

產(chǎn)品價(jià)格45000.00元/臺(tái)

最小起訂≥1 臺(tái)

發(fā)貨地湖北發(fā)貨期限0天內(nèi)發(fā)貨供貨總量0 臺(tái)

業(yè)務(wù)經(jīng)理
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基本參數(shù)
服務(wù)項(xiàng)目 瀏覽量5 發(fā)布時(shí)間2014-07-10
品牌成越科儀 所在地湖北 起訂≥1 臺(tái)
供貨總量未填 發(fā)貨0天內(nèi)發(fā)貨 有效期至2025-03-09
展開(kāi)
詳細(xì)說(shuō)明

該區(qū)域提純爐主要由:高溫梯度爐、真空爐管、真空法蘭、電子真空計(jì)、質(zhì)量流量計(jì)、分子泵組、直線導(dǎo)軌、速度控制器等重要部件構(gòu)成。廣泛用于半導(dǎo)體鍺、硅提純還可以用于金屬、金屬間化合物提純。

主要技術(shù)參數(shù):

工作溫度:1200

爐管長(zhǎng)度:1200mm

爐管直徑:50mmm

爐管厚度:5mm

密封方式:不銹鋼真空法蘭

真空度:1.0X10E-3Pa

流量計(jì)類型:質(zhì)量流量計(jì)

氣體流量:100SCCM200SCCM、500SCCM

載料舟長(zhǎng)度:200mm

移動(dòng)速度:160mm/60min(可根據(jù)實(shí)際要求調(diào)節(jié))

溫度控制:50段可編程控制

控制系統(tǒng):全電腦程序控制

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